一、磁控溅射防锈MoS_2薄膜沉积工艺研究（论文文献综述）
乔红斌,张大伟,田雪梅,金玲[1]（2021）在《有机固体润滑涂层的研究进展》文中指出结合有机涂层的主要特点,对比分析了4类碳素材料（石墨、金刚石、石墨烯和碳纳米管）、4类纳米氧化物（二氧化硅、二氧化钛、氧化铝、氧化锌）、碳化物和氮化物对涂层摩擦磨损和力学性能的改善,系统对比概述了有机固体润滑涂层的研究进展。在此基础上,提出了有机固体润滑涂层未来的研究方向。
吴健[2]（2021）在《非晶碳基薄膜在盐酸中的摩擦磨损行为研究》文中指出机械零部件在腐蚀性环境服役时会发生腐蚀磨损现象。该现象不仅会造成工件表面损坏和材料消耗,还会造成巨大的经济损失和不可预估的灾难。类金刚石薄膜（Diamond-like carbon film,简称DLC）由于其高硬度、优异的减摩能力、高耐磨性和出色的化学稳定性而被广泛用做表面保护涂层。关于DLC薄膜在腐蚀性溶液中的摩擦学行为已有大量的研究和探索,为DLC薄膜在严苛环境中的应用提供了可行性。然而,DLC薄膜在盐酸环境下的摩擦行为较少被关注,特别是测试条件如载荷、对偶材料、溶液浓度等对DLC薄膜在盐酸环境下摩擦行为的影响。此外,研究者主要集中在对DLC薄膜摩擦行为过程的描述,缺乏对其摩擦学机理的深入阐释。针对上述问题,我们系统地分析了载荷（接触应力）、对偶材料、溶液浓度等对DLC薄膜在盐酸环境下摩擦行为的影响,并根据得到的结果,解释DLC薄膜本质的摩擦学机理,为盐酸环境下Cr-DLC薄膜的配副材料提供理论指导。主要的研究内容和结论如下:（1）采用非平衡磁控溅射技术制备铬掺杂DLC薄膜（Cr-DLC）,并且研究了其在0.3M盐酸环境下载荷（接触应力）对其摩擦行为的影响。在盐酸溶液下,Cr-DLC薄膜在变载条件下的平均摩擦系数（COF）符合赫兹弹性接触,即除2 N外,COF随接触载荷的增加而降低。Cr-DLC薄膜在5 N显示出最佳的耐磨性,磨损率约为1.79×10-7 mm3/Nm。Cr-DLC薄膜在低载荷下（2 N和5 N）的主要磨损机理是由于在摩擦界面处形成的转移膜和摩擦化学反应。在高载荷下（7 N和10 N）,Cr-DLC薄膜的摩擦行为主要受高接触压力和氯离子腐蚀作用的协同影响。在高赫兹接触应力下,Cr-DLC在盐酸中表现出较低的磨损率和摩擦系数,这表明Cr-DLC薄膜在高载荷下可以获得优异的润滑性。（2）为了进一步提高Cr-DLC薄膜在盐酸中摩擦学性能,我们详细地考察了不同配副材料（GCr15钢球,Si3N4陶瓷球,ta-C,H62黄铜球）与Cr-DLC薄膜组成的摩擦副在0.3M盐酸中的摩擦学行为。结果表明ta-C/Cr-DLC摩擦副具有出最优异的摩擦学性能。当Cr-DLC膜与不同对偶材料滑动时,摩擦系数由高到低依次为μH62/Cr-DLC>μGCr15/Cr-DLC>μSi3N4/Cr-DLC>μta-C/Cr-DLC。该行为主要受接触压力、sp3→sp2相变和摩擦化学反应的影响;Cr-DLC薄膜的磨损率从高到低依次为:WSi3N4/Cr-DLC>WH62/Cr-DLC>Wta-C/Cr-DLC。磨损行为主要与摩擦过程中生成的摩擦化学产物有关。（3）通过上述研究发现在0.3M盐酸中ta-C/Cr-DLC摩擦副具有比其他摩擦副更加的摩擦学性能。然而盐酸的浓度在实际应用工况中会发生改变。那么ta-C/Cr-DLC摩擦副在不同浓度盐酸环境下是否仍然会保持低摩擦系数和高耐磨性?这对于发展碳基摩擦学涂层的实际应用具有重要意义。因此本工作系统地研究了ta-C/Cr-DLC摩擦副在不同摩尔浓度盐酸中的摩擦学行为。结果发现ta-C/Cr-DLC摩擦副在不同摩尔浓度的盐酸溶液中摩擦系数和磨损率无明显变化,这表明ta-C/Cr-DLC摩擦副具有良好的环境适应性。在不同浓度HCl中,ta-C/Cr-DLC摩擦副优异的摩擦学性能与-OH或-H基团对Cr-DLC和ta-C表面悬键的钝化作用,摩擦界面低粘着水层和石墨化转移膜的形成有关。
杨安琪[3]（2020）在《软磁合金基体制备二氧化硅薄膜及其性能研究》文中提出磁流体动力学（Magnetohydrodynamics,MHD）微角振动传感器是一种可以实现微角振动和亚微弧度测量的新型仪器,具有低噪声、宽频带、高精度、耐冲击等特点,主要应用于空间环境微角振动测量和微弧度测量。MHD微角振动传感器其工作原理是利用导电流体在磁场中振动,产生感应电动势来敏感振动信息的。通常结构设计:导电流体的腔体上下表面采用绝缘材料,内外电极采用导电材料,导电流体腔体置于永久磁场中。其特点使永久磁场工作气隙增大,磁场强度降低,继而MHD传感器灵敏度降低。随着MHD传感器的发展小型化、高灵敏度,在结构设计上需要采用新工艺,将导电流体腔体的绝缘圆柱体用绝缘薄膜代替,制备在永久磁场软磁合金导磁材料上,且要求:具备良好的绝缘性、耐磨性和热冲击。软磁合金基体制备绝缘薄膜技术及工艺鲜有报道,本文针对软磁合金基体制备绝缘薄膜技术及工艺进行了研究,并对绝缘薄膜的性能进行了评定,论文的主要内容如下:（1）阐述了MHD传感器工作原理及软磁合金基体制备绝缘薄膜的意义,分析了软磁合金基体制备绝缘薄膜的特性要求以及可能对MHD传感器性能及可靠性带来的影响。（2）调研分析了不同材质基体制备绝缘薄膜研究现状,针对软磁合金基体及薄膜特性要求,选择了二氧化硅绝缘薄膜,利用射频平衡磁控溅射法制备。（3）针对MHD传感器软磁合金空心圆柱体基体的特点及平衡磁控溅射仪平面制备薄膜的局限性,创新设计了旋转装置工装,实现了内外圆面制备薄膜,并申请了专利。（4）软磁合金基体上制备二氧化硅薄膜是全新工艺,对工艺流程及影响绝缘薄膜特性的主要参数工作气压、溅射功率、基体温度等进行了研究。为了进一步提高薄膜与基体间的附着力,增加了钛过渡层,并对工艺进行了研究。针对本文薄膜特性要求和基体特点,制定了评判方法。（5）采用单因素与正交试验相结合的方法进行了软磁合金基体制备二氧化硅薄膜试验,实现了对薄膜特性的要求。研究结果表明:先在软磁合金基体上镀覆一层60nm的钛薄膜,再在工作气压为3m Torr、溅射功率为70W、基体温度为250℃、溅射时间为21600s的条件下镀覆二氧化硅薄膜,薄膜特性最佳且满足要求。
田苗,王佐平,张亚娟,王育召,符昊[4]（2019）在《新型固体润滑复合膜在国内外的研究现状及其在传动领域应用的分析》文中研究指明探索新型固体自润滑膜及其制备技术是摩擦学研究的热点。纳米薄膜润滑是纳米摩擦学的一个前沿课题,是固体润滑研究的一个重要领域。综述了类金刚石薄膜、二硫化钼润滑膜、类石墨碳膜等几种典型固体润滑纳米膜的研究成果,对新型固体润滑复合膜的发展趋势进行了探讨,分析了新型固体润滑复合膜在传动领域的应用。
惠志城[5]（2019）在《PAO/MoDTC润滑AlMgB14-TiB2涂层与B4C涂层摩擦磨损行为的研究》文中研究说明为了提高燃油效率,减少CO2排放,工业界研发了各种耐磨减摩硬质涂层,保护机械部件,减少摩擦磨损。在过去的十年中,富硼硼化物涂层因其优异的力学和摩擦学性能而成为研究热点,尤其是AlMgB14-TiB2和B4C。AlMgB14-TiB2涂层最初由美国能源部Ames实验室开发,已表现出作为机械零部件耐磨涂层的巨大潜力,特别是在油润滑条件下。与未涂覆的机械部件比较,全配方油润滑条件下涂覆B4C涂层的部件表现出更优秀的抗划伤和宏观耐磨性。口前,B4C涂层已应用于汽车变速箱零部件表面。然而,富硼硼化物涂层与润滑油添加剂之间的摩擦化学相互作用尚未得到系统研究。基于此,本文系统研究了纯PAO基础油和摩擦改性添加剂二烷基二硫代氨基甲酸钼（MoDTC）对沉积态及退火态AlMgB14-TiB2涂层和B4C涂层摩擦学行为和摩擦化学机理的影响。本文进行销盘式单向旋转滑动和往复滑动试验,拉曼光谱、扫描电镜（SEM）、能量色散X射线能谱（EDX）、X射线光电子能谱（XPS）、激光共聚焦显微镜（LCSM）和三维白光干涉仪等对涂层进行了表征。实验结果与主要结论如下:（1）在单向旋转滑动纯PAO基础油润滑条件下,退火态AlMgB14-TiB2涂层和沉积态B4C涂层具有最低的摩擦系数,大约在0.1左右。退火态B4C涂层摩擦系数最高,达到0.15左右。在往复滑动纯PAO基础油润滑条件下,沉积态AlMgB14-TiB2和沉积态B4C具有最低的摩擦系数0.12,而退火态AlMgB14-TiB2涂层与退火B4C涂层摩擦系数较高,大约在0.14-0.15左右。扫描电镜形貌分析表明,涂层发生了粘着磨损（adhesion wear）。退火B4C有局部剥落现象,磨损较大。EDX能谱分析表明磨痕处存在大量Fe、O元素,形成粘着转移层,涂层成分如B、Ti等被转移层覆盖。（2）在单向旋转滑动PAO/MoDTC润滑条件下,硼化物涂层的摩擦系数表现出不稳定和波动的行为,并逐渐达到一个稳定值0.08-0.12。在往复滑动摩擦中这些涂层的摩擦系数保持在0.05-0.07之间。扫描电镜形貌分析表明,无论滑动接触形式如何,硼化物涂层均未发生严重磨损。但在单向旋转接触下,与硼化物涂层对磨钢球的磨损较大,磨损机理为磨粒磨损,往复滑动接触下钢球磨损较小。EDX能谱和X射线光电子能谱分析表明,单向旋转滑动摩擦时,涂层磨痕处的MoDTC不完全分解,在对磨钢球表面没有形成MoS2摩擦膜,而AlMgB14-TiB2涂层在往复滑动摩擦条件下表面形成了明显的MoS2摩擦膜。在MoDTC润滑条件下,AlMgB14-TiB2涂层和B4C涂层的表面摩擦化学过程与涂层的滑动摩擦接触形式和表面化学状态密切相关。（3）MoDTC降解生成的MoS2摩擦膜减摩润滑效果明显,MoDTC与AlMgB14-TiB2涂层的摩擦化学匹配性优于B4C涂层。
王鲁宁,闻明,张蕊,赵飞,郭俊梅[6]（2019）在《含金耐磨耐蚀涂层的制备及性能研究进展》文中指出材料在使用过程中经常会因为磨损和腐蚀而导致失效,采用表面改性技术制备涂层来改善材料的耐磨性和耐蚀性是一种经济、高效的方法。由于金具有低剪切强度、化学稳定性好和自润滑作用等优点,在涂层中引入金可以显着改善材料的耐磨性和耐蚀性。综述了含金耐磨耐蚀涂层目前主要的制备方法、金的润滑机理、金提高涂层耐蚀性的原因及其影响因素等,并对涂层的发展方向进行了展望。
张聪聪[7]（2018）在《高功率脉冲磁控溅射法制备Al-Mg-Ti-B涂层及摩擦磨损性能研究》文中进行了进一步梳理工业制造业中,机械设备工作时存在的摩擦磨损不仅提高功耗,还会损害设备。这一普遍现象的存在,会给生产造成成本压力,进而影响经济。现阶段,开发适用于机械工件表面的耐磨减摩涂层是应对这一难题的重要措施。AlMgB14系富硼硼化物作为一类兼具低密度、高硬度、低摩擦的硬质材料引起了材料界学者的广泛关注,特别是AlMgB14-TiB2的硬度最高可达40GPa,属于超硬材料的范畴。将AlMgB14-TiB2材料作为涂层应用时,不仅能够有效的抵抗磨损,而且在润滑条件下,包括水醇或矿物油润滑,能够降低摩擦。此外,AlMgB14-TiB2涂层还具有优异的高温稳定性和化学稳定性,能够满足高新技术领域对耐磨减摩涂层综合性能的高要求,使得AlMgB14-TiB2涂层不但可以应用于耐磨涂层、切削装备等传统机械制造领域,还可以广泛应用于热电器件、集成电路制造及航空航天关键部件等先进科学技术领域。故探究AlMgB14-TiB2涂层的制备新技术以及深入研究AlMgB14-TiB2涂层的摩擦磨损特性对于促进该涂层的实际应用和工业化生产具有重要意义。本文采用高功率脉冲磁控溅射法（HiPIMS）制备Al-Mg-Ti-B涂层,沉积过程中利用基片偏压辅助粒子束沉积,设定偏压为0～-150V,实现对涂层的高能离子轰击,无需基片加热,成功制备出了一系列高性能的Al-Mg-Ti-B涂层。利用X射线衍射（XRD）,扫描电子显微镜（SEM）,X射线光电子能谱（XPS）,纳米压痕等测试分析了该技术制备的涂层的结构形貌,化学成分和力学性能。结果表明,偏压辅助HiPIMS沉积Al-Mg-Ti-B涂层能够有效改善其力学性能。随偏压从0V增大到-150V,涂层均具有致密的无定形结构,同时XPS结果表明强离子轰击能够有效降低涂层中的O含量,纳米硬度为28～37GPa,弹性模量为315～348GPa。为了进一步研究利用HiPIMS制备的Al-Mg-Ti-B涂层的摩擦磨损性能。应用UMT-3球盘式摩擦磨损试验机,以PAO+MoDTC为润滑油,测试0～-150V偏压条件下沉积的Al-Mg-Ti-B涂层的摩擦学行为。结果显示,所有的涂层在摩擦过程中均能获得低摩擦,但是摩擦系数随测试时间的延长而增大,0～-100V涂层的最低摩擦系数为0.05左右,后随时间延长增至0.08;-150V涂层摩擦系数最低为0.065,后增长至0.1以上。利用X射线光电子能谱（XPS）,扫描电子显微镜（SEM）及能谱仪（EDS）分析摩擦副间的接触表面,结果表明,MoDTC在摩擦过程中分解产生了 MoS2润滑摩擦膜,因此能够获得低摩擦,但是随摩擦进行,Mo的进一步氧化使摩擦系数曲线上翘。但是-150V涂层在摩擦副表面均没有检测到Mo和S的存在,这主要归因于-150V涂层硬度过高,由于对磨副球的剧烈磨损MoS2在接触区域被不断移除,因此摩擦系数最高。本文还将涂层在700℃,730℃,750℃条件下退火,并与沉积态做对比,探究了不同退火温度条件下获得的Al-Mg-Ti-B涂层在MoDTC润滑条件下的摩擦磨损性能。测试结果显示,处理涂层所使用的退火温度越高,则测试中获得的摩擦系数越高。利用X射线光电子能谱（XPS）,扫描电子显微镜（SEM）分析摩擦副间的接触表面,结果表明随退火温度的升高,接触面间磨损加剧,摩擦膜内Mo、S含量降低且MoS2减少而MoO3增多。此外,对退火后涂层表面的拉曼分析表明退火后涂层表面产生TiO2的不同相态,即锐钛矿和金红石,推测其可能会影响摩擦膜的吸附进而影响涂层摩擦学行为。
李忠建[8]（2017）在《偏压对直流磁控溅射制备铝镁钛硼涂层结构及性能影响的研究》文中研究表明据不完全统计,目前世界上约30%-40%的能源消耗于各种形式的摩擦磨损,对摩擦体系来说,耐磨性是我们首先要考虑的问题,摩擦体系中材料的性能对摩擦磨损起着决定性作用,目前,各国都在加大投入,研究高硬度,高耐磨性,低摩擦系数,能够适用于旋转和往复式摩擦条件的材料。AlMgB14材料的研究已经有接近五十年的历史,AlMgB14材料是由四个B12组成的二十面体和存在于二十面体之间的Al、Mg原子和八个B原子特殊结构构成。TiB2弥散分布于AlMgB14基体中,可极大提高材料的机械性能,人们发现Al-Mg-Ti-B等富硼材料的涂层同样具有高硬度,低摩擦系数,低密度和高的热稳定性,在摩擦体系中具有较高的研究价值和应用价值。偏压对直流磁控溅射制备的Al-Mg-Ti-B涂层的成分、结构、性能等的影响尚缺乏系统的研究,同时涂层成分、硬度、化学态等对油润滑条件下的摩擦磨损性能的影响也缺少深入的研究。本文首先通过机械混合,热压烧结的方法制备出了直流磁控溅射所需要的Al-Mg-Ti-B靶材。通过扫描电子显微镜（SEM）、能谱仪（EDX）、X射线衍射（XRD）手段进行表征,表明制备的Al-Mg-Ti-B靶材结构致密均匀,结晶性好,杂质含量少,在实际的镀膜过程中可满足作为直流磁控溅射靶材的要求。利用直流磁控溅射溅射制备Al-Mg-Ti-B涂层,以单晶Si为衬底,改变不同的偏压,制备不同的Al-Mg-Ti-B涂层,对涂层结构、成分、粗糙度、硬度等性能进行表征。俄歇电子能谱（AES）图谱表明,制备的Al-Mg-Ti-B涂层成分均匀,从涂层表面到涂层内部,成分并没有明显变化;X射线衍射（XRD）结果显示,偏压并不能影响Al-Mg-Ti-B涂层结晶性,不同偏压条件下磁控溅射制备的涂层均为非晶结构;利用X射线光电子能谱（XPS）对涂层的成分和化学态进行分析,增加偏压有利于减少涂层中C,O杂质含量,涂层中B-B键含量增多,从而提高了涂层的硬度,同时偏压促进金属Ti氧化;扫描电子显微镜（SEM）图像显示,偏压提高了 Al-Mg-Ti-B涂层的致密度,柱状结构逐渐消失;对涂层的表面粗糙度进行分析发现,涂层的表面粗糙度随偏压的升高先增大后减小;偏压的增加会增强涂层的断裂韧性和机械性能,但随偏压的升高,涂层的残余应力会增大,与衬底的结合能力减弱,容易剥落。本文还系统研究了油润滑涂层的磨损机理和偏压对直流磁控溅射制备Al-Mg-Ti-B涂层摩擦学行为的影响,以轴承钢为衬底,改变不同的偏压,直流磁控溅射制备不同的Al-Mg-Ti-B涂层。分别采用油润滑（PAO+MoDTC）球盘式旋转磨擦测试,在室温油润滑条件下,Al-Mg-Ti-B涂层的摩擦系数可达0.04的超低摩擦系数,通过计算表明,润滑状态为边界润滑。对磨痕进行XPS成分和化学态分析,表明摩擦测试过程中,在涂层与对磨球接触的对磨面上形成了MoS2的摩擦膜,MoS2薄膜类似于石墨的特殊层状结构,极大地降低了涂层的摩擦系数,随着偏压的增加,摩擦系数有所升高,并对对磨球的磨损加重。对磨痕进行形貌分析和成分分析表明,摩擦过程中对涂层的磨损率极低,没有形成明显的磨痕和出现剥落现象,在涂层与对磨球接触表面,Fe元素的含量升高,是由于在摩擦测试过程中,Fe元素由对磨钢球表面转移到了涂层表面。
王明娥[9]（2015）在《阴极弧与磁控溅射复合技术制备耐磨涂层》文中研究表明随着高推重比发动机和大型发动机的研发,解决高载荷条件下耐磨润滑问题日益迫切。类金刚石涂层由于其具有低摩擦系数、高耐磨性等优点业已成为解决军工产品耐磨问题的首选材料。但是单层结构类金刚石涂层的承载能力较差,且内应力较大、膜基界面结合力较差,在高载荷下易于发生断裂、剥离等失效行为。为了解决这一问题,国外正在研发粘结层（金属层）+承载层（耐磨层）+润滑层（DLC）这种耐磨润滑涂层体系。通过功能化梯度过渡层与承载层的设计,可使涂层的组分和微观结构沿涂层生长方向梯度渐变,显着提高涂层与基体的结合强度和涂层的抗载荷性能。另一方面国际上涂层制备技术正朝着大面积加工、复合加工和高表面质量加工方向发展,鉴于此本论文首先进行了阴极弧与磁控溅射技术的复合研究,从复合源技术研究入手,解决矩形阴极弧源大面积燃烧和可控烧蚀问题,并将其与中频磁控溅射复合,从而实现大面积加工和高表面质量涂层。在此基础之上,再进行具有高承载力的类金刚石耐磨涂层研究。本论文主要包括以下几个部分：（1）首先设计并优化了矩形大面积可控弧靶（尺寸为430mmx125mm）,通过可编程线圈电源设计,利用线圈电流对磁场产生微扰作用,实现对弧斑燃烧轨迹的控制,使得其按照扫描式轨道进行燃烧,大大提高靶材刻蚀均匀性和靶材利用率；将可控弧靶与中频磁控溅射靶复合到同一设备中,以满足制备多层结构涂层的需求。对复合源设备,通过磁场模拟测试及等离子体密度测试等手段对沉积环境进行表征,结果表明复合源设备等离子体均匀性较好,复合源开启时真空室内等离子体密度明显高于单个源开启时的等离子体密度值,为8.98×1011/cm3左右,真空室内等离子体密度在101l/cm3以上的有效工作区为φ400×450mm2；利用复合源设备提供的不同技术,对比研究了阴极弧沉积、先弧沉积后磁控溅射沉积、阴极弧与磁控溅射共沉积、磁控溅射沉积四种工艺制备的氮化钛涂层,通过对氮化钛涂层表面断面形貌分析,可以看出复合源沉积的涂层相对于阴极弧沉积样品涂层表面质量明显提高,同时组织结构已无柱状晶生长特征,显示为致密的结构；在400N载荷下,与WC球对磨时,阴极弧与磁控溅射复合沉积的涂层耐磨寿命最长,为116s。这主要是由于在样品沉积过程中基体随样品架公自转,交替进行弧靶和磁控靶沉积,使得磁控溅射与阴极弧两种技术发挥优势互补作用,制备的涂层呈现出特有的层状致密结构,这种结构有利于提高涂层高载荷下的耐磨性能。（2）针对类金刚石支撑层部分,采用阴极弧与磁控溅射复合技术,对比研究了Cr/CrN多层结构涂层,包括不同Cr/CrN周期多层和Cr/CrN梯度多层,以便摸索最佳支撑层结构方案。通过对涂层表面断面、晶体结构、成分、硬度、膜基结合力、残余应力和摩擦学性能的表征,发现不同调制多层结构影响着Cr/CrN涂层的晶体结构及残余应力状态,进而影响其力学性能和支撑能力。不同周期Cr/CrN涂层的膜基结合力、硬度和耐磨性能等均随着调制层数目减少而增强,相对于Cr/CrN周期结构多层,梯度Cr/CrN涂层具有最高的硬度,维氏硬度972Hv和纳米硬度27.8GPa（微米硬度为2N载荷下测试）,结合力高达62N,在100N载荷下与WC球对磨,其磨损率最低,为32.54×10-6mm3/Nm。梯度结构Cr/CrN涂层由于在制备过程中以100sccm/step的方式逐渐增加氮气流量,使得涂层内形成成分连续变化和硬度连续变化,涂层硬度和应力之间具有良好的匹配,使得其具有最优耐磨性能和最佳支撑能力。梯度结构Cr/CrN涂层是可用于具有高承载能力的碳基复合涂层承载层的最佳选择。（3）在最佳结构支撑层（梯度结构Cr/CrN支撑层）基础上,利用阴极弧、磁控溅射和分解C2H2气体的化学气相沉积技术,制备具有过渡层、承载层和减磨顶层的类金刚石涂层,其涂层结构为Cr/（Cr/CrN梯度层）/CrCN/CrC/Cr-DLC,顶层Cr-DLC中金属Cr的梯度掺杂量可通过调节弧靶电流控制弧靶中毒速度实现。通过对比发现弧靶电流为120A制备的涂层综合性能最好,硬度高达36.5GPa,结合力为52N,涂层内sp3键含量最高；而对具有不同结构支撑层的Cr-DLC复合涂层进行球盘方式摩擦磨损测试,于干摩擦下与WC球对磨3600转（测试载荷为100N）,具有梯度支撑层的Cr-DLC复合涂层磨痕深度最浅（为7.241μm）,磨损率最低,为13.8×10-7mm3/Nm,相对于无CrN支撑层的Cr-DLC复合涂层其耐磨性能提高了近10倍。基于功能梯度过渡、梯度掺杂的多层膜成膜思想,采用阴极弧与磁控溅射复合技术,通过优化承载层（Cr/CrN）与润滑层（DLC）结构方案,制备出具有梯度多层结构的Cr-DLC复合涂层,厚度大于13.5μm,在高载荷下表现出很好的应用前景。
孙建荣,李长生,郭志成,刘金银子[10]（2013）在《MoS2/Ni复合膜的微结构与摩擦学性能》文中研究指明采用磁控溅射法,在20CrMnTi基片上制备了MoS2/Ni复合膜,通过X射线衍射仪、能谱仪、扫描电子显微镜和微摩擦磨损试验机对薄膜的形貌、物相和摩擦学性能进行了测试与分析。结果表明:MoS2/Ni复合膜形貌规整,结构均匀;其摩擦因数低,具有较好的耐磨性和抗氧化性,承载能力大,在高转速摩擦条件下的性能更加优异。
二、磁控溅射防锈MoS_2薄膜沉积工艺研究（论文开题报告）
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
本文主要提出一款精简64位RISC处理器存储管理单元结构并详细分析其设计过程。在该MMU结构中,TLB采用叁个分离的TLB,TLB采用基于内容查找的相联存储器并行查找,支持粗粒度为64KB和细粒度为4KB两种页面大小,采用多级分层页表结构映射地址空间,并详细论述了四级页表转换过程,TLB结构组织等。该MMU结构将作为该处理器存储系统实现的一个重要组成部分。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
三、磁控溅射防锈MoS_2薄膜沉积工艺研究（论文提纲范文）
（1）有机固体润滑涂层的研究进展（论文提纲范文）
| 0 前 言 |
| 1 碳素材料填充固体润滑涂层 |
| 1.1 石墨与金刚石填充固体润滑涂层 |
| 1.2 石墨烯填充固体润滑涂层 |
| 1.3 碳纳米管填充固体润滑涂层 |
| 2 纳米粒子填充固体润滑涂层 |
| 2.1 纳米氧化物填充固体润滑涂层 |
| 2.2 其他纳米粒子填充固体润滑涂层 |
| 3 展 望 |
（2）非晶碳基薄膜在盐酸中的摩擦磨损行为研究（论文提纲范文）
| 中文摘要 |
| Abstract |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 机械部件的磨蚀 |
| 1.1.1 机械部件的磨蚀行为概述 |
| 1.1.2 机械部件的磨蚀防护方法 |
| 1.1.3 用于机械(运动)部件涂层材料的磨蚀研究进展 |
| 1.2 非晶碳基薄膜材料 |
| 1.2.1 非晶碳基薄膜材料的定义及分类 |
| 1.2.2 非晶碳基薄膜材料的结构与性能 |
| 1.2.3 非晶碳基薄膜材料的制备方法 |
| 1.2.4 非晶碳基薄膜材料的应用 |
| 1.3 非晶碳基薄膜材料在盐酸中的摩擦学研究现状 |
| 1.3.1 测试条件对非晶碳基薄膜摩擦行为的影响 |
| 1.3.2 非晶碳基薄膜的摩擦机理研究现状 |
| 1.4 选题依据与研究内容 |
| 第二章 变载条件下Cr-DLC薄膜在盐酸中的摩擦学行为研究 |
| 2.1 引言 |
| 2.2 实验部分 |
| 2.2.1 薄膜的制备 |
| 2.2.2 薄膜的表征 |
| 2.2.3 薄膜的摩擦学性能 |
| 2.3 结果与讨论 |
| 2.3.1 薄膜的结构和机械性能 |
| 2.3.2 摩擦和磨损行为 |
| 2.3.3 磨损面的特征 |
| 2.3.4 盐酸环境中薄膜在变载条件下的摩擦学性能分析 |
| 2.4 本章小结 |
| 第三章 界面调控对Cr-DLC薄膜在盐酸中摩擦学行为的影响 |
| 3.1 引言 |
| 3.2 实验 |
| 3.2.1 Cr-DLC薄膜的制备 |
| 3.2.2 Ta-C薄膜的制备 |
| 3.2.3 不同配副对Cr-DLC薄膜的摩擦学性能 |
| 3.3 结果与讨论 |
| 3.3.1 薄膜的结构和机械性能 |
| 3.3.2 薄膜的摩擦学行为 |
| 3.3.3 磨损表面分析 |
| 3.3.4 Cr-DLC薄膜摩擦学行为对不同配副的依赖性分析 |
| 3.4 本章小结 |
| 第四章 Ta-C/Cr-DLC摩擦副在不同浓度盐酸中的摩擦学行为研究 |
| 4.1 引言 |
| 4.2 实验部分 |
| 4.2.1 薄膜制备 |
| 4.2.2 薄膜表征 |
| 4.2.3 摩擦测试 |
| 4.3 结果与讨论 |
| 4.3.1 薄膜的微观结构 |
| 4.3.2 薄膜的机械性能 |
| 4.3.3 Ta-C/Cr-DLC摩擦副的摩擦学行为 |
| 4.4 本章小结 |
| 第五章 结论与展望 |
| 参考文献 |
| 作者简历及攻读学位期间取得的学位论文创新性科研成果 |
| 致谢 |
（3）软磁合金基体制备二氧化硅薄膜及其性能研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| abstract |
| 第1章 绪论 |
| 1.1 课题研究的背景和意义 |
| 1.2 绝缘薄膜及制备方法的研究现状 |
| 1.3 本论文主要研究的内容 |
| 1.4 本章小结 |
| 第2章 绝缘薄膜材料及制备方法的选择 |
| 2.1 绝缘薄膜材料的选择 |
| 2.1.1 绝缘薄膜制备的基体及性能要求 |
| 2.1.2 绝缘薄膜性能对比分析及选择 |
| 2.2 SiO_2薄膜制备方法的选择 |
| 2.2.1 SiO_2薄膜制备方法对比分析 |
| 2.2.2 磁控溅射法对比分析及选择 |
| 2.3 本章小结 |
| 第3章 空心圆柱体镀膜装置的结构设计 |
| 3.1 空心圆柱体镀膜装置设计要求 |
| 3.2 空心圆柱体外表面镀膜旋转装置的设计 |
| 3.3 空心圆柱体内表面镀膜装置的设计 |
| 3.4 本章小结 |
| 第4章 软磁合金基体制备SiO_2薄膜工艺研究及性能评定方法 |
| 4.1 软磁合金基体制备SiO_2薄膜的工艺 |
| 4.1.1 真空室及软磁合金基体的处理 |
| 4.1.2 工艺参数的控制 |
| 4.1.3 增加Ti薄膜过渡层工艺 |
| 4.2 SiO_2薄膜性能评定方法 |
| 4.2.1 薄膜厚度 |
| 4.2.2 薄膜绝缘强度 |
| 4.2.3 薄膜表面形貌 |
| 4.2.4 薄膜附着力 |
| 4.2.5 薄膜耐磨性 |
| 4.3 本章小结 |
| 第5章 软磁合金基体制备SiO_2薄膜试验及薄膜特性分析 |
| 5.1 软磁合金基体制备SiO_2薄膜 |
| 5.1.1 试验设备 |
| 5.1.2 试验方法 |
| 5.2 SiO_2薄膜特性分析 |
| 5.2.1 软磁合金基体外表面SiO_2薄膜特性分析 |
| 5.2.2 软软磁合金基体内表面 SiO_2 薄膜特性分析 |
| 5.3 增加Ti过渡层优化SiO_2薄膜附着力 |
| 5.3.1 Ti薄膜的制备 |
| 5.3.2 不同厚度Ti过渡层的薄膜特性对比 |
| 5.4 本章小结 |
| 第6章 总结与展望 |
| 6.1 总结 |
| 6.2 展望 |
| 参考文献 |
| 发表论文和参与科研情况说明 |
| 致谢 |
（4）新型固体润滑复合膜在国内外的研究现状及其在传动领域应用的分析（论文提纲范文）
| 1 几种典型的新型固体润滑膜 |
| 1.1 DLC类金刚石膜 |
| 1.2 MoS2复合膜 |
| 1.3 类石墨碳膜 |
| 1.4 多元类石墨碳膜 |
| 2固体润滑在机械传动领域的应用 |
| 3 固体润滑膜发展趋势 |
| 4 结语 |
（5）PAO/MoDTC润滑AlMgB14-TiB2涂层与B4C涂层摩擦磨损行为的研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 第1章 绪论 |
| 1.1 研究背景 |
| 1.2 摩擦学 |
| 1.2.1 摩擦磨损 |
| 1.2.2 润滑机制 |
| 1.2.3 润滑剂及添加剂 |
| 1.3 耐磨涂层 |
| 1.3.1 AlMgB_(14)-TiB_2涂层简介 |
| 1.3.2 B_4C涂层简介 |
| 1.4 本文主要研究内容 |
| 第2章 样品制备工艺与表征方法 |
| 2.1 涂层制备工艺 |
| 2.1.1 实验设备及材料 |
| 2.1.2 靶材制备与基片预处理 |
| 2.1.3 样品制备过程 |
| 2.2 涂层表征方法 |
| 2.2.1 拉曼光谱(Raman spectroscopy) |
| 2.2.2 扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM) |
| 2.2.3 能量色散X射线能谱仪(Energy Dispersive Spectrometer,EDS) |
| 2.2.4 X射线光电子能谱(X-ray photoelectron spectroscopy,XPS) |
| 2.2.5 三维白光干涉表面形貌仪 |
| 2.2.6 激光共聚焦显微镜(Laser Scanning Confocal Microscopy, LSCM) |
| 2.2.7 摩擦行为表征 |
| 第3章 纯PAO润滑AlMgB_(14)-TiB_2涂层和B_4C涂层摩擦学行为的研究 |
| 3.1 涂层表征 |
| 3.1.1 涂层拉曼光谱表征 |
| 3.1.2 涂层粗糙度 |
| 3.1.3 涂层断面分析 |
| 3.1.4 涂层表面XPS成分分析 |
| 3.2 摩擦磨损测试 |
| 3.3 PAO润滑涂层摩擦学行为及分析 |
| 3.3.1 摩擦磨损行为 |
| 3.3.2 磨痕SEM形貌 |
| 3.3.3 磨痕背散射电子SEM图像 |
| 3.3.4 能量色散X射线能谱仪(EDS)分析 |
| 3.3.5 激光共聚焦显微镜分析(LSCM) |
| 3.4 结果分析与讨论 |
| 3.5 本章小结 |
| 第4章 MoDTC润滑AlMgB_(14)-TiB_2涂层和B_4C涂层摩擦学行为的研究 |
| 4.1 MoDTC润滑摩擦磨损行为 |
| 4.2 扫描电子显微镜分析 |
| 4.2.1 单向旋转滑动SEM |
| 4.2.2 往复滑动SEM |
| 4.3 钢球能量色散X射线能谱仪(EDS)分析 |
| 4.3.1 单向旋转滑动EDS |
| 4.3.2 往复滑动EDS |
| 4.4 磨痕XPS表征 |
| 4.4.1 单向旋转滑动XPS |
| 4.4.2 往复滑动XPS |
| 4.5 往复滑动磨痕三维白光 |
| 4.6 结果分析与讨论 |
| 4.7 本章小结 |
| 第5章 结论与展望 |
| 5.1 结论 |
| 5.2 创新点 |
| 5.3 展望 |
| 参考文献 |
| 致谢 |
| 附件 |
（6）含金耐磨耐蚀涂层的制备及性能研究进展（论文提纲范文）
| 1 涂层的制备方法 |
| 1.1 物理气相沉积 (PVD) |
| 1.2 化学气相沉积 (CVD) |
| 1.3 溶液成膜法 |
| 2 含金涂层耐磨性研究 |
| 2.1 含金涂层润滑机理研究 |
| 2.2 影响因素研究 |
| 2.2.1 粗糙度和载荷大小的影响 |
| 2.2.2 涂层结构状态的影响 |
| 2.2.3 涂层应力的影响 |
| 3 含金涂层耐蚀性研究 |
| 3.1 涂层表面缺陷的影响 |
| 3.2 涂层元素分布及温度的影响 |
| 3.3 多层涂层的影响 |
| 4 结语 |
（7）高功率脉冲磁控溅射法制备Al-Mg-Ti-B涂层及摩擦磨损性能研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 课题背景及意义 |
| 1.2 Al-Mg-B材料简介 |
| 1.2.1 Al-Mg-B的结构 |
| 1.2.2 Al-Mg-B的力学性能 |
| 1.2.3 Al-Mg-B的其它性能 |
| 1.3 Al-Mg-Ti-B涂层制备技术 |
| 1.4 磁控溅射 |
| 1.4.1 直流磁控溅射 |
| 1.4.2 高功率脉冲磁控溅射 |
| 1.5 Al-Mg-Ti-B涂层的摩擦磨损研究概述 |
| 1.6 主要研究内容及研究目标 |
| 第二章 涂层的制备与结构性能表征 |
| 2.1 涂层的制备 |
| 2.1.1 实验设备 |
| 2.1.2 实验材料 |
| 2.1.3 涂层的制备过程 |
| 2.2 涂层的表征 |
| 2.2.1 涂层微观结构表征 |
| 2.2.2 涂层化学成分分析 |
| 2.2.3 涂层性能测试 |
| 第三章 HiPIMS制备Al-Mg-Ti-B涂层及其力学性能研究 |
| 3.1 引言 |
| 3.2 预实验 |
| 3.2.1 MPP电源与铝镁钛硼靶材的匹配性 |
| 3.2.2 HiPIMS电源与铝镁钛硼靶材的匹配性 |
| 3.3 涂层的制备 |
| 3.4 涂层的表征 |
| 3.4.1 涂层的微观结构 |
| 3.4.2 涂层的断面形貌 |
| 3.4.3 涂层的成分分析 |
| 3.4.4 涂层的力学性能 |
| 3.5 本章小结 |
| 第四章 不同偏压Al-Mg-Ti-B涂层的摩擦磨损性能研究 |
| 4.1 引言 |
| 4.2 涂层的制备 |
| 4.3 膜基结合力 |
| 4.4 干摩擦磨损性能 |
| 4.5 MoDTC润滑不同偏压Al-Mg-Ti-B涂层的摩擦磨损性能 |
| 4.5.1 摩擦实验条件 |
| 4.5.2 摩擦系数曲线 |
| 4.5.3 涂层磨痕形貌及成分分析 |
| 4.5.4 摩擦副球的磨斑形貌及成分分析 |
| 4.5.5 MoDTC润滑不同偏压Al-Mg-Ti-B涂层的机理 |
| 4.5.6 HPIMS和DCMS沉积Al-Mg-Ti-B涂层的耐磨性比较 |
| 4.6 本章小结 |
| 第五章 不同温度退火Al-Mg-Ti-B涂层的摩擦磨损性能研究 |
| 5.1 引言 |
| 5.2 涂层的制备 |
| 5.3 不同温度退火Al-Mg-Ti-B涂层的表面化学状态 |
| 5.4 不同温度退火Al-Mg-Ti-B涂层的摩擦学行为 |
| 5.4.1 摩擦实验条件 |
| 5.4.2 摩擦系数曲线 |
| 5.4.3 涂层磨痕形貌及成分分析 |
| 5.4.4 摩擦副球的磨斑形貌及成分分析 |
| 5.5 退火温度影响Al-Mg-Ti-B涂层摩擦学行为的机理 |
| 5.6 本章小结 |
| 第六章 结论与展望 |
| 6.1 结论 |
| 6.2 展望 |
| 6.3 创新点 |
| 参考文献 |
| 致谢 |
| 附录 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 |
（8）偏压对直流磁控溅射制备铝镁钛硼涂层结构及性能影响的研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 第1章 绪论 |
| 1.1 研究背景 |
| 1.2 Al-Mg-Ti-B材料的研究进展 |
| 1.2.1 Al-Mg-B结构 |
| 1.2.2 Al-Mg-B材料特性 |
| 1.2.3 Al-Mg-B材料的制备 |
| 1.2.4 Al-Mg-Ti-B薄膜与涂层 |
| 1.3 镀膜技术 |
| 1.3.1 真空蒸发镀膜 |
| 1.3.2 真空离子镀膜 |
| 1.3.3 化学气相沉积CVD镀膜 |
| 1.3.4 真空溅射镀膜 |
| 1.4 摩擦学基础 |
| 1.4.1 摩擦种类 |
| 1.4.2 润滑剂的类型 |
| 1.4.3 AlMgB_(14)-TiB_2涂层耐磨性能 |
| 1.5 本论文选题依据和主要研究内容 |
| 第2章 样品制备与表征方法 |
| 2.1 涂层制备 |
| 2.1.1 涂层设备 |
| 2.1.2 靶材制备 |
| 2.1.3 衬底及预处理 |
| 2.1.4 镀膜过程 |
| 2.2 样品的测试分析设备 |
| 2.2.1 样品的形貌分析 |
| 2.2.2 样品的成分分析 |
| 2.2.3 样品的结构分析 |
| 2.2.4 力学性能分析 |
| 2.2.5 摩擦学测试 |
| 第3章 Al-Mg-Ti-B材料结构成分力学性能的研究 |
| 3.1 靶材的表征 |
| 3.1.1 靶材表面形貌及成分的分析 |
| 3.1.2 靶材结构分析 |
| 3.2 涂层的表征 |
| 3.2.1 涂层的制备条件 |
| 3.2.2 涂层表面形貌分析 |
| 3.2.3 涂层断面形貌分析 |
| 3.2.4 涂层结构分析 |
| 3.2.5 涂层深度成分均匀性分析 |
| 3.2.6 涂层成分分析 |
| 3.2.7 涂层表面化学状态 |
| 3.2.8 涂层应力的研究 |
| 3.2.9 涂层纳米压痕测试 |
| 3.3 本章小结 |
| 第4章 偏压对油润滑Al-Mg-Ti-B涂层摩擦行为与机理影响的研究 |
| 4.1 对照组摩擦磨损测试 |
| 4.2 不同偏压制备Al-Mg-Ti-B涂层的表面粗糙度与润滑类型分析 |
| 4.3 不同偏压制备Al-Mg-Ti-B涂层摩擦行为测试 |
| 4.4 Al-Mg-Ti-B涂层磨痕形貌分析 |
| 4.5 涂层磨痕处成分及化学态的分析 |
| 4.5.1 磨痕成分分析 |
| 4.5.2 B元素的化学状态 |
| 4.5.3 Ti元素的化学状态 |
| 4.5.4 Mo元素的化学状态 |
| 4.6 对磨球面的表面分析 |
| 4.7 本章小结 |
| 第5章 结论与展望 |
| 5.1 论文的主要结论 |
| 5.2 论文的创新点 |
| 5.3 存在问题和今后工作方向 |
| 参考文献 |
| 致谢 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 |
（9）阴极弧与磁控溅射复合技术制备耐磨涂层（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| TABLE OF CONTENTS |
| 1 绪论 |
| 1.1 耐磨润滑的重要性 |
| 1.1.1 军用领域需求 |
| 1.1.2 航空航天需求 |
| 1.1.3 民用领域需求 |
| 1.2 涂层结构发展趋势 |
| 1.2.1 多层膜技术简介 |
| 1.2.2 多层膜制备技术发展 |
| 1.2.3 阴极弧技术发展 |
| 1.2.4 阴极弧复合技术 |
| 1.2.5 阴极弧与中频磁控溅射技术复合的优势 |
| 1.3 类金刚石(Diamond like carbon,DLC)涂层 |
| 1.3.1 常用的固体润滑材料 |
| 1.3.2 DLC涂层 |
| 1.3.3 DLC涂层耐磨减磨机理 |
| 1.3.4 DLC涂层现存的问题 |
| 1.3.5 高承载能力DLC涂层研究现状 |
| 1.4 本论文的选题及研究内容 |
| 2 阴极弧与磁控溅射复合技术研究 |
| 2.1 阴极弧复合技术研究现状 |
| 2.2 大面积可控阴极弧技术原理介绍 |
| 2.2.1 可控弧研究 |
| 2.2.2 矩形大面积可控弧技术方案 |
| 2.2.3 复合阴极弧磁控设备 |
| 2.3 实验介绍 |
| 2.4 涂层测试与表征 |
| 2.4.1 扫描电镜(SEM) |
| 2.4.2 X射线衍射分析(XRD) |
| 2.4.3 拉曼光谱(Raman spectroscopy) |
| 2.4.4 微米硬度与纳米硬度测试 |
| 2.4.5 白光干涉仪 |
| 2.4.6 膜基结合力测试 |
| 2.4.7 基片曲率法测试涂层残余应力 |
| 2.4.8 涂层摩擦磨损性能测试 |
| 3 基于不同工艺下的沉积环境、涂层组织结构及性能研究 |
| 3.1 概述 |
| 3.2 基于不同工艺的沉积环境研究 |
| 3.2.1 磁场分布测试及模拟研究 |
| 3.2.2 等离子体密度测试原理及方法 |
| 3.2.3 磁场分布及等离子体密度结果分析 |
| 3.3 基于不同工艺下的涂层组织结构和性能研究 |
| 3.3.1 涂层制备及分析方法概述 |
| 3.3.2 基于不同工艺下的涂层表面形貌对比分析 |
| 3.3.3 基于不同工艺下的涂层组织结构分析 |
| 3.3.4 基于不同工艺下的涂层化学结构分析 |
| 3.3.5 基于不同工艺下的涂层结合力分析 |
| 3.3.6 基于不同工艺下的涂层摩擦磨损性能分析 |
| 3.4 本章小结 |
| 4 多层结构碳基复合涂层支撑层的研究 |
| 4.1 概述 |
| 4.1.1 支撑层材料的选择及相关机理 |
| 4.1.2 涂层结构设计及相关机理 |
| 4.2 工艺参数对单层Cr/CrN涂层沉积效率、粗糙度及相关性能的影响 |
| 4.2.1 实验方法概述 |
| 4.2.2 弧靶电流对Cr/CrN涂层粗糙度及沉积效率影响 |
| 4.2.3 沉积温度对Cr/CrN涂层粗糙度及沉积效率影响 |
| 4.2.4 脉冲偏压对Cr/CrN涂层粗糙度及沉积效率影响 |
| 4.2.5 氮气流量对Cr/CrN涂层沉积效率、粗糙度及相关性能影响 |
| 4.3 调制周期对Cr/CrN多层涂层组织结构及相关性能的影响 |
| 4.3.1 涂层制备 |
| 4.3.2 不同调制周期下的Cr/CrN多层涂层断面 |
| 4.3.3 调制周期对Cr/CrN多层涂层成分与结构影响 |
| 4.3.4 调制周期对Cr/CrN多层涂层结合力影响 |
| 4.3.5 调制周期对Cr/CrN多层涂层硬度影响 |
| 4.3.6 调制周期对Cr/CrN多层涂层摩擦磨损性能影响 |
| 4.4 Cr/CrN多层体系残余应力测试 |
| 4.5 Cr/CrN多层体系接触应力分析 |
| 4.5.1 概述 |
| 4.5.2 模型的建立 |
| 4.5.3 结果分析 |
| 4.6 本章小结 |
| 5 多层结构Cr-DLC复合涂层研究 |
| 5.1 梯度多层Cr掺杂DLC复合涂层制备 |
| 5.2 不同弧靶电流对梯度多层Cr-DLC复合涂层性能影响 |
| 5.2.1 不同弧靶电流下梯度多层Cr-DLC复合涂层表面与断面分析 |
| 5.2.2 不同弧靶电流下梯度多层Cr-DLC复合涂层XRD分析 |
| 5.2.3 不同弧靶电流下梯度多层Cr-DLC复合涂层Raman光谱分析 |
| 5.2.4 不同弧靶电流对梯度多层Cr-DLC复合涂层力学性能影响 |
| 5.3 不同支撑层Cr-DLC复合涂层研究 |
| 5.3.1 不同支撑层Cr-DLC复合涂层力学性能分析 |
| 5.3.2 不同支撑层Cr-DLC复合涂层低载荷下摩擦磨损性能 |
| 5.3.3 不同支撑层Cr-DLC复合涂层高载荷下摩擦磨损测试 |
| 5.4 本章小结 |
| 6 结论与展望 |
| 6.1 结论 |
| 6.2 创新点摘要 |
| 6.3 展望 |
| 参考文献 |
| 攻读博士学位期间科研项目及科研成果 |
| 致谢 |
| 作者简介 |
四、磁控溅射防锈MoS_2薄膜沉积工艺研究（论文参考文献）
- [1]有机固体润滑涂层的研究进展[J]. 乔红斌,张大伟,田雪梅,金玲. 材料保护, 2021(12)
- [2]非晶碳基薄膜在盐酸中的摩擦磨损行为研究[D]. 吴健. 兰州大学, 2021
- [3]软磁合金基体制备二氧化硅薄膜及其性能研究[D]. 杨安琪. 天津大学, 2020(02)
- [4]新型固体润滑复合膜在国内外的研究现状及其在传动领域应用的分析[J]. 田苗,王佐平,张亚娟,王育召,符昊. 热加工工艺, 2019(24)
- [5]PAO/MoDTC润滑AlMgB14-TiB2涂层与B4C涂层摩擦磨损行为的研究[D]. 惠志城. 山东大学, 2019(09)
- [6]含金耐磨耐蚀涂层的制备及性能研究进展[J]. 王鲁宁,闻明,张蕊,赵飞,郭俊梅. 贵金属, 2019(01)
- [7]高功率脉冲磁控溅射法制备Al-Mg-Ti-B涂层及摩擦磨损性能研究[D]. 张聪聪. 山东大学, 2018(01)
- [8]偏压对直流磁控溅射制备铝镁钛硼涂层结构及性能影响的研究[D]. 李忠建. 山东大学, 2017(09)
- [9]阴极弧与磁控溅射复合技术制备耐磨涂层[D]. 王明娥. 大连理工大学, 2015(07)
- [10]MoS2/Ni复合膜的微结构与摩擦学性能[J]. 孙建荣,李长生,郭志成,刘金银子. 机械工程材料, 2013(06)