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脉冲激光溅射和富锆 PZT 薄膜的性能
一、脉冲激光溅射及富—锆PZT薄膜的性能研究(论文文献综述)李彪[1](2021)在《缓冲层引导的溅射PZT薄膜的制备研究》文中研究说明近些年来,择优取向的PZT薄膜由于良好的...