压电薄膜传感器论文

脉冲激光溅射和富锆 PZT 薄膜的性能

一、脉冲激光溅射及富—锆PZT薄膜的性能研究（论文文献综述）李彪[1]（2021）在《缓冲层引导的溅射PZT薄膜的制备研究》文中研究说明近些年来,择优取向的PZT薄膜由于良好的...